金沙棋牌1991cc-手机版平台

WAlN-SC 001仕様書
フッター
バージョン:2019-09-07

金沙棋牌1991cc

製品仕様書
SPECIFICATIONS

深紫外コア材料・SiC/AlNエピシート/テンプレート

WAlN-SC001

50~5000 nm,(002) ,(102)

SC001

金沙棋牌1991cc

Hubei DUVTek Co., LTD.

湖北省鄂州市梧桐湖新区鳳凰大道9号東湖ハイテク創意城B 08棟
Building B08, Donghu High-tech Innovation City, No. 9 Fenghuang Avenue, Wutong Lake New District, Ezhou, Hubei, China

  • 仕様パラメータCharcteristics
  • パフォーマンス パラメータ値Value
    直径Diameter2 inch (50.8±0.05 μm)
    基板タイプSubstrate6H/4H-SiC <0001>±0.5°, N type, D degree
    基板厚さSubstrate Thickness330±25 μm
    エピ層の厚さEpilayer Thickness50~5000 nm
    (002)結晶品質Crystal quality(FWHM of 002 XRD)
    (102)結晶品質Crystal quality(FWHM of 102 XRD)
    正面粗さFront side rougness
    エッジ控除Edge exclusion
    クラックスルーundefined
    a面(11-20)配向Surface orentation of a-plne
    m面(11-20)配向Surface orentation of m-plne
    ポジショニングエッジ結晶向けPrimary flat orentation
    位置決め辺長Primary flat length
    裏面粗さBack side rougness
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