7 월 3 일 심 천 에서 개 최 된 '2020 전문가 Point · 딥 자 외 LED 포럼 및 신제품 발표 회 및' UV LED 산업 발전 백서 '성과 발표' 에서 후 베 이 성 딥 퍼 플 은 고성능 칩 의 주제 강연 을 공유 했다.양 인 옥 박 사 는 현재 딥 자 외 LED 는 외연, 칩, 패 키 징 에 모두 도전 하고 있 으 며 외연 에 비해 가장 어 려 운 것 으로 그 난점 은 주로 성장 공예 와 성장 부품 이 라 고 밝 혔 다.그러므로 고 외연 품질 재료, 고 광 추출 효율 구조, 높 은 신뢰성 을 가 진 자외선 LED 부품 을 어떻게 제조 하 느 냐 가 업계 발전의 병목 이 되 었 다.

그렇다면 외연 칩 기법 에 있어 서 후 베 이 성 딥 퍼 플 은 어떤 자체 기술 하 이 라이트 가 있 습 니까?

1. 고 품질 질화 알루미늄 바탕 제조 공정

짙 은 자줏빛 의 외연 성장 에 대비 하여 도형 화 사파이어 기 판 공 예 를 사용한다. 이 공 예 는 평면 사파이어 기 판 을 바탕 으로 자체 적 으로 설계 하여 만 든 것 이다. 제조 절 차 는 먼저 PECVD 침적 200 nm Sio 10000 마스크 를 사용한다. 이 어 차례로 광각, ICP 식각 과 습 법 식각 을 실시한다.

이상 의 기 판 을 바탕 으로 저온 AlN 성 핵, 펄스 원자 층 침적 과 고온 AlN 연속 성장 3 보 법 으로 AlN 소재 의 MOCVD 외연 성장 을 진행 합 니 다.획득 한 AlN 필름 은 표면 이 매 끄 럽 고 균열 이 없 으 며 고성능 부품 에 좋 은 기 초 를 다 져 주 었 다.

출처: 2020 전문가 POINT 딥 자 외 포럼 과 신상 발표 회 - 후 베 이 딥 자 강연 PPT

2. 전자 감속 기 를 가 진 딥 자외선 LED 소재 의 성장 기법

AlGaN 소재 의 전자 이전 능력 이 구멍 이전 능력 보다 크 면 전자의 오 버 플 로 우 를 초래 할 수 있다.전자 와 구멍 의 이동 능력 을 균형 있 게 하기 위해 후 베 이 성 딥 퍼 플 은 AlGan 확장 층 이전에 초 결정 격자 전자 감속 기 구 조 를 추 가 했 는데 이 는 전자의 오 버 플 로 우 를 억제 하기 위 한 것 이다.

에 따 르 면 후 베 이 성 딥 퍼 플 은 세 가지 구 조 를 설계 했다. 하 나 는 균일 한 Al 성분 의 구조 이 고 하 나 는 Al 성분 이 낮 아진 구조 이 며 하 나 는 Al 성분 이 높 아진 구조 이 고 세 가지 구 조 는 부속품 의 성능 에 미 친 영향 을 연구 했다.

연구 결과 에 따 르 면 네 개의 시료 수정체 의 질량 이 같 고, 수정체 의 질량 이 부속품 의 성능 에 미 치 는 영향 을 제외 한 퀘 이 크 월 드 및 초 결정 격자 전자 감속 기 구조 인터페이스 가 가 파 르 고 있다.

3. 고 효율 흡 광 딥 자외선 LED 부속품 디자인 및 공정 - 스텔스 절단 작업

후 베 이 성 딥 퍼 플 이 사용 하 는 기 저 기법 은 같은 효 과 를 가 진 조 화 된 구역 에서 다 중 레이저 스텔스 절단 기술 로 충분 한 조 화 된 기 판 사 이 드 벽 을 형성 하고 TM 모 자외선 이 사파이어 사 이 드 벽 에서 의 전 반 사 를 완화 시 켜 빛 추출 효율 을 높 인 다.이 절단 기법 에서 100 mA 의 경우 4 칼 을 한 칼 에 비해 광 출력 이 19.62% 높 아진 것 으로 나 타 났 다.

출처: 2020 년 전문가 POINT 딥 자 외 포럼 과 신상 발표 회 - 후 베 이 딥 자 강연 PPT

그 밖 에 마이크로 렌즈 배열 디자인 과 기법 에 있어 서 나방 눈 나 노 필름 으로 덮 으 면 깊 은 자외선 LED 를 26.7% 의 광 출력 을 높 일 수 있다.

기술 하 이 라 이 트 를 나 누 는 것 외 에 도 호 북 딥 퍼 플 은 딥 자 외 LED 칩 을 발표 했다.

양 인 옥 박 사 는 대회 에서 후 베 이 (湖 北) 딥 퍼 플 1220 ml 딥 자 외 LED 칩 을 선 보 였 으 며, 이 같은 몇 가지 기술 을 종합 하여 구현 한 주류 규격 칩 이다.이 칩 은 3.7 - 6 을 실현 할 수 있다.2 mW @ 40 mA，9 - 15mW @ 100 mA의 272 nm 피크 길이 깊 은 자외선 으로 수출 되 고 WPE 는 2.41% 에 달한다.

출처: 2020 년 전문가 POINT 딥 자 외 포럼 과 신상 발표 회 - 후 베 이 딥 자 강연 PPT

양 인 옥 박 사 는 강연 에서 이 어 후 베 이 성 딥 퍼 플 은 더 짧 은 파장 과 고성능 (고 광 효과) 방향 으로 계속 힘 을 내 더 높 은 가격 대비 딥 자 외 LED 칩 을 제공 할 것 이 라 고 밝 혔 다.